集成电路工艺技术
集成电路产业是我国战略性新兴产业。2016年，厦门市发布《加快发展集成电路产业实施意见》（厦府[2016]220号），布局重点发展集成电路产业。近5年来，建成了联芯、三安集成、士兰微、通富微等重点制造项目，引进宸星科技、码灵半导体、开元通信等一批集成电路设计企业，基本覆盖集成电路IC制造、设计、先进封装以及系统应用开发等主要环节。针对厦门市集成电路产业发展需求，本课程将重点讲解大规模CMOS IC工艺技术，讲授MEMS器件及代表性工艺技术，使学生理解集成电路制造工艺有一个全面的认识，为从事相关领域的工作奠定基础。
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